CHB3100系列槽式湿法设备

CHB3100系列槽式湿法设备

面向 12 英寸晶圆、一次可处理 50 片、兼容多种湿制程、药液精度可控的高集成度槽式清洗设备!

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真空烤盘炉(Bake炉)

真空烤盘炉(Bake炉)

采用美日进口的石墨毯石墨棒,绝热保温性强、耐气流冲刷、抗热蚀、抗热震;自主研发石墨盘,国产化替代

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CHS2100系列单片清洗设备

CHS2100系列单片清洗设备

面向 8 英寸晶圆的单片清洗设备,兆声波去深孔深沟污染、压力与温流参数稳定可控

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产品优势
我们始终坚持品质与创新并行,为客户提供可靠的产品与服务
01

供应服务

秉承"专业、敬业、精业"的企业精神,坚持"诚信、务实、进取、永续"的经营理念。

02

安全环保

我们坚持将经济效益、社会责任以及环境保护结合在一起,通过科学与创新,实现零排放。

03

高质保量

聚焦"行业领先、受人尊敬"的企业愿景,确立了"科技领先、优质高效"的发展理念。

04

售后服务

我们24小时为您提供优质的服务,售前、售中、售后三个阶段,360°为客户提供服务。

关于我们

关于我们

源邑华半导体(苏州)有限公司成立2020年4月。公司秉承解决客户在生产中遇到的量产问题,做到优质服务,与客户共进退。专注半导体制程设备专业技术和产品设计,致力于高端湿制程整体解决方案。公司产品广泛应用于集成电路、分立器件、MEMS、光电子、化合物半导体、衬底材料等应用领域。研发与制造公司现有技术团队成员15人,在半导体和太阳能行业从业10-15年,有丰富设计和解决问题的经验.在与18所合作开发湿...

高品质设备

我们广泛的范围是开发到最高标准,以满足您的需求设备。

优质服务

广泛的产品范围旨在满足您的机器和应用的需求。

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产品展示
我们坚持将经济效益、社会责任以及环境保护结合在一起,通过科学与创新
全部产品
CHD2000系列晶圆干燥设备
CHD2000系列晶圆干燥设备

适配6~8英寸晶圆,兼容单晶硅、碳化硅、氮化镓、砷化镓等材料;具备优异颗粒控制能力,可稳定实现低颗粒污染,满足半导体与化合物半导体晶圆清洗后的干燥工艺需求。

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CYH3100系列槽式湿法设备
CYH3100系列槽式湿法设备

适配12英寸晶圆,可处理光阻、硅基、氧化硅、氮化硅及各类金属膜;覆盖炉前清洗、光刻胶去除、薄膜刻蚀等多道湿法工艺。设备集成传输、工艺、药液供给单元,可批量传...

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CHD3000系列晶圆甩干设备
CHD3000系列晶圆甩干设备

支持2~12英寸晶圆,兼容单晶硅、碳化硅、氮化镓、砷化镓等材料;颗粒控制指标优异,可满足半导体及化合物半导体晶圆清洗后的低污染干燥需求。

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CHS2100系列单片清洗设备
CHS2100系列单片清洗设备

适配8英寸晶圆,可处理单晶硅、多晶硅、氧化硅及金属膜;覆盖多道半导体前后道清洗工艺。设备压力输出稳定,兆声波清洗可去除深孔深沟槽污染物,流量、压力、温度参数...

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CYH3100系列立式/卧式石英管清洗设备
CYH3100系列立式/卧式石英管清洗设备

适配8~12英寸石英管件,可清洗石英、氮化硅材质的石英管/舟、石英板等零部件,采用浸泡式清洗工艺,满足半导体石英零部件洁净处理需求。

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湿法衬底剥离设备
湿法衬底剥离设备

适配2~6英寸及100mm方形晶圆单面贴膜剥离,支持高低温双工艺模式,控温精度高,可连续稳定运行8小时,剥离后晶圆与薄膜洁净度好,满足化合物半导体衬底湿法剥...

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CYH2100系列槽式湿法设备
CYH2100系列槽式湿法设备

适配4–8英寸晶圆,兼容多种薄膜材料,覆盖清洗、去胶、刻蚀、晶圆回收等湿法工艺。支持50片批量自动传送,搭载高精度药液供

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我们的成功案例遍布多个行业领域
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环境保护与经济发展是否有冲突
环境保护与经济发展是否有冲突

人类的发展可以看作是人类在多变环境下考虑如何长期生存下去,自然需要利用环境资源进行长期生存的条件建设。从某种意义上来讲,经济发展与环境保护是两个矛盾个体。所...

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江苏光伏企业自检产能过剩和恶性竞争
江苏光伏企业自检产能过剩和恶性竞争

与阳光为伴的光伏产业如今也遇上了“阴雨天”。“当前,光伏产业最大的问题就是产能过剩。”光伏产业从“一片蓝海”到“一哄而上”,最终导致目前产品价格大跌、企业利

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源邑华半导体(苏州)有限公司
源邑华半导体(苏州)有限公司
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