产品概述

CYH3100系列立式/卧式石英管清洗设备，适配8~12英寸石英管件，可清洗石英、氮化硅材质的石英管/舟、石英板等零部件，采用浸泡式清洗工艺，满足半导体石英零部件洁净处理需求。

石英管尺寸

8-12 "

适用材料

石英、氮化硅

适用工艺

石英管/舟、石英板等零部件、浸泡式清洗