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单片清洗设备

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  CHS2100系列单片清洗设备

  适配8英寸晶圆，可处理单晶硅、多晶硅、氧化硅及金属膜；覆盖多道半导体前后道清洗工艺。设备压力输出稳定，兆声波清洗可去除深...

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