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MOCVD尾气处理系统

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  砷烷、磷烷MOCVD尾气处理系统

  本产品面向MOCVD工艺环节产生的砷烷（AsH₃）、磷烷（PH₃）剧毒尾气处理需求，采用多级化学吸收洗涤工艺，将尾气中剧...

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